常用名 四氯硅烷
别  名 四氯化硅
英文名 Tetrachlorosilane
CAS号 10026-04-7
EINECS 233-054-0
分子式 Cl4Si
分子量 169.898
密  度 1.5±0.1 g/cm3
沸  点 57.6±9.0 °C
熔  点 −70 °C
闪  点 57.6°C