常用名 四甲基氢氧化铵
别  名 四甲基氢氧化铵溶液 | 显影液TMAH
英文名 Tetramethylammonium hydroxide
CAS号 75-59-2
EINECS 200-882-9
分子式 C4H13NO
分子量 91.152
密  度 0.866 g/mL
沸  点 110 °C
熔  点 62-71°C
闪  点 80 °F
性  状 无色结晶
溶解性 溶于水和乙醇等