常用名 三甲基乙氧基硅烷
别  名 乙氧基三甲基硅烷
英文名 Ethoxy(trimethyl)silane
CAS号 1825-62-3
EINECS 217-370-6
分子式 C5H14OSi
分子量 118.250
密  度 0.8±0.1 g/cm3
沸  点 75.5±0.0 °C
熔  点 -83°C
闪  点 -18.9±0.0 °C